扫描电镜基本介绍

在当代迅速发展的科学技术中，科学家需要观察、分析和正确的解释在一个微米（um）或亚微米范围内的所有现象，扫描电镜是强有力的工具。

扫描电镜是以能力为1~30KV间的电子束，以光栅状扫描方式照射到被分析试样的表面上，利用入射电子和试验表面物质相互作用所产生的二次电子和背散射电子成像，获得试验表面微观组织结构和形貌信息。

性能：

l 有较高的分辨率：5nm

l 有较高的放大倍数几倍到6万倍之间连续可调

l 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试验凹凸不平表面的细微结构

l 试验制备简单，使用方便

典型应用

l 植物学：应用扫描电镜对植物次生木质部微观结构的观察，可以发现纹空上附物的有无以及附物的大小、形状和分布等可作为植物系统演化的依据。

l 动物学：应用扫描电镜技术研究动物的超微形态结构，对其分类学、生理学病理学等基础学科以及资料利用、动植物虫害防治等具有重要意义。

l 医学：从基础研究发展到疾病模型、培养细胞或组织监督、伤情诊断、药理作用与效果观察、疑难病症的电镜诊断。

l 材料学：在材料检验、材料工艺、失效分析、新材料研制等方面具有广泛的应用

l 半导体、集成电路质量监控与工艺诊断

l 汽车表面涂层、氧化钢粉末